大家都知道現(xiàn)在真空系統(tǒng)在各個行業(yè)的應(yīng)用越來越廣泛，下面我們?yōu)榇蠹医榻B一下現(xiàn)在常用的低溫真空泵與熱真空設(shè)備吧。
低溫真空泵(又稱低溫泵、冷泵、冷凝泵)是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的容積式真空泵，是無油高真空環(huán)境獲得設(shè)備。低溫泵應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的制造工藝過程，是集成電路專用設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備之一;低溫泵也用于各種其它鍍膜設(shè)備和真空應(yīng)用設(shè)備中。
熱真空試驗設(shè)備又稱空間環(huán)境模擬設(shè)備或空間模擬器，它是模擬衛(wèi)星及其組件在軌道運行中的高真空條件下，對衛(wèi)星組件進行考驗，這就是通常說的組件熱真空試驗。熱真空試驗箱主要由真空容器、熱沉與輻射屏、試驗平臺、制冷、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、循環(huán)水系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、測量與控制系統(tǒng)及安全保護系統(tǒng)組成。
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